我們在進等離子體化學氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進行標定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標準,對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進行測量。真空計(Vacuum Gauge),又名真空表,是測量真空度或氣壓的儀器。金華電阻型真空計報價
該電阻真空計(又名電阻真空計)采用本公司潛心研究的經過特殊穩(wěn)定化處理的ZJ-52T電阻規(guī);同時結合電阻規(guī)特性精心調校電子學參數,并采用先進的恒功率定溫技術,以及微處理器對規(guī)管的非線性線性化處理技術?;诖?,該真空計系列具有強的穩(wěn)定性能、寬廣的有效測量量程、快的響應速度、較小的零點/滿度漂移等特性。為適應真空設備自動化技術,并集成了強大的繼電器觸點控制、串行通訊、真空模擬量等擴展功能。特別適用于真空應用設備的粗、低真空測量與控制。 古銀川數顯式電阻真空表廠家電話電阻真空計易出現(xiàn)老化現(xiàn)象,使其性能降低。
用電離計檢漏時,示漏物質應選用電離效果與殘余氣體有可能大差異者,電離效果包括電離率及電離電位兩者的綜合結果,一般用氫,氦,二氧化碳等。用熱真空計檢漏時,示漏物質可用氫,二氧化碳,。酒精等。一般說來,用氣體噴吹用液體覆蓋為好,因為液體往往會堵塞漏孔,還會污染真空系統(tǒng)或器件,熱真空計因為慣性大,反應慢,檢漏時巡噴速度不宜過快,并仔細觀察,認真判別是系統(tǒng)的壓強波動,儀器的漂移或是真正存在漏孔。只有示漏物質離開后,儀器指示恢復原狀的,才是真正的漏孔。
電阻真空計也稱皮拉尼(Pirani)真空計,它是憑借熱絲電阻的變化反映壓力的。它主要由規(guī)管和測量線路兩部分組成,其測量范圍為104~10-1 Pa。電阻真空計是應用氣體導熱性能與氣體壓強有關的原理做的真空計。利用電橋測量真空中的電阻變化來換算出真空度。電阻真空計也叫皮氏真空計(皮拉尼)采用ZJ-52電阻規(guī)管。該真空計量程較寬、漂移較小。適用于真空設備的真空測量與控制。規(guī)管殼可用金屬或玻璃制成,金屬外殼具有耐用、拆卸熱絲方便等優(yōu)點,缺點是密封性能較差,價格高;玻璃外殼具有密封性能好、價格低等優(yōu)點,缺點是易損壞。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計會成為熱傳導真空計。
在抽氣管內塞入的鋼針及橡皮頭均是用于防止真空計在運輸途中化學物質流失用的,請在真空計安置之后,與真空系統(tǒng)相連時再作抽出(請別丟棄,以后送維修時,還需塞緊后寄回)。對于您選擇的掛壁或帶杠桿式的真空計,采用羅栓作固定的安裝時必須保證真空計與水平面的垂直度,采用支撐式或帶杠桿的請將三根支撐桿一一擰上(杠桿式的在左側還配有一根平衡桿),選擇一個適合擺放支撐真空計的平臺面,安置好真空計。當測量完畢后,應及時的關閉真空計與測量系統(tǒng)之間的閥門,將手輪退到擰不動為止,把杠桿退還到起始位置即可。真空計短期內不使用,可用鐵扎頭扎緊橡皮管。內蒙電阻真空表廠家推薦
電阻真空計在實際使用中,需要采取各種補償法來克服環(huán)境溫度的影響。金華電阻型真空計報價
PM-5型掛壁式麥氏真空計使用方法:1、在開箱安裝之前,請勿隨意旋轉底部的手輪或撳壓杠桿,以免造成化學物質的流出,始終保持直立的姿勢。2、采用支撐式或杠桿式的真空計,請將三根支撐桿擰上,選擇一個合適的臺面,按置真空計,若是采用掛壁式的必須用羅栓作固定,安裝時必須保持真空計與水平面的垂直度。3、對于掛壁式真空計,由于其整機在固定后不能晃動造成壓縮腔內的殘余氣體被化學物質壓迫而抽不干凈,故在真空計作固定前須用一臺極限真空能抽至0.1Pa以上的真空泵對真空計進行單獨抽氣,邊抽邊進行測量,待真空計顯示出真空度在5Pa以上后,再關閉真空泵,然后將直立姿勢的真空計固定起來,對于支撐形式的真空計,抽一下高真空,再投入到測量工作中去。 金華電阻型真空計報價
上海家君真空儀表制造有限公司屬于儀器儀表的高新企業(yè),技術力量雄厚。公司是一家有限責任公司(自然)企業(yè),以誠信務實的創(chuàng)業(yè)精神、專業(yè)的管理團隊、踏實的職工隊伍,努力為廣大用戶提供高品質的產品。公司始終堅持客戶需求優(yōu)先的原則,致力于提供高質量的麥氏真空計,熱偶真空計,電阻真空計,真空泵。家君真空儀表以創(chuàng)造高品質產品及服務的理念,打造高指標的服務,引導行業(yè)的發(fā)展。