我們在進等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標(biāo)定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準(zhǔn)確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進行標(biāo)定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標(biāo)準(zhǔn),對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進行測量。熱傳導(dǎo)真空計主要被應(yīng)用于中低真空領(lǐng)域。濟寧數(shù)顯式電阻真空計廠家電話

該電阻真空計（又名電阻真空計）采用本公司潛心研究的經(jīng)過特殊穩(wěn)定化處理的ZJ-52T電阻規(guī)；同時結(jié)合電阻規(guī)特性精心調(diào)校電子學(xué)參數(shù)，并采用先進的恒功率定溫技術(shù)，以及微處理器對規(guī)管的非線性線性化處理技術(shù)。基于此，該真空計系列具有強的穩(wěn)定性能、寬廣的有效測量量程、快的響應(yīng)速度、較小的零點/滿度漂移等特性。為適應(yīng)真空設(shè)備自動化技術(shù)，并集成了強大的繼電器觸點控制、串行通訊、真空模擬量等擴展功能。特別適用于真空應(yīng)用設(shè)備的粗、低真空測量與控制。 紹興智能型真空表直銷廠家真空計適用于300 Pa -0.1Pa范圍內(nèi)的真空測量和控制。

隔膜真空計是用于系統(tǒng)中檢測腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件，就隔膜真空計本身而言，根據(jù)其測量原理以及量程，精度，組織構(gòu)造，分為很多種類型，這給實際使用中的隔膜真空計選型帶來了一定的難度，本文旨在提供一種統(tǒng)一的選型思路，兩步法快速幫助您快速定位所需的隔膜真空計種類。對于每一個等級內(nèi)的真空度，較佳的測量儀器是不一樣的，具體來說，若處于中低真空的范圍，通常選用皮拉尼電阻規(guī)隔膜真空計，若處于高真空或者超高真空的范圍，則只能選擇電離規(guī)。需要注意的是，皮拉尼電阻規(guī)原理特性決定其在靠近大氣端測量誤差較大，且對氣體種類敏感，因此若設(shè)備的工作真空度在10^3Pa以上，或者過程中對這個區(qū)域的真空度需要監(jiān)控，而且要求測量精度很高，則不宜選擇單純的皮拉尼隔膜真空計，可以考慮皮拉尼與膜片電容復(fù)合的隔膜真空計。

運輸及使用時必須嚴(yán)防倒置平臥，以防化學(xué)物質(zhì)倒回真空像皮管內(nèi)或化學(xué)物質(zhì)珠進入中間閉管毛細管內(nèi)堵塞毛細管，影響測量精度。因此在每次使用前必須先將真空橡皮管豎直，以使化學(xué)物質(zhì)能流回真空計玻璃管內(nèi)。在測量時即真空表為直立狀態(tài),嚴(yán)禁將任何氣體強烈地沖入真空系統(tǒng),以免沖擊玻璃管致使擊碎玻璃管。真空計內(nèi)工作汞已經(jīng)經(jīng)過化學(xué)物理方法處理，有一定的清潔性。因長期使用等原因而引起的化學(xué)物質(zhì)氧化污染會直接影響測量精度，應(yīng)及時送往修理，經(jīng)檢驗合格后方可使用。真空計在測量結(jié)束后，應(yīng)用夾子將真空橡皮管夾緊使用之與真空系統(tǒng)氣體隔離。這樣能保持真空計內(nèi)化學(xué)物質(zhì)清潔，也能避免真空計被取下分離時，大氣強烈沖擊真空計使其破碎。如不將真空計取下，應(yīng)在機械真空泵停止后，一定要將機械泵與真空系統(tǒng)氣路斷開，并將機械泵內(nèi)放入大氣以免機械泵油返入真空系統(tǒng)及真空計受到油的污染。電阻真空計有較大的熱慣性，壓強改變時，其讀數(shù)會滯后一些時間。

電阻真空計（thermocouplevacuumgauge）的工作原理是：當(dāng)氣體分子平均自由程大于容器的線度時，它的熱傳導(dǎo)系數(shù)正比于壓強。將一根金屬絲通以恒定的加熱電流時，由于氣體導(dǎo)走了一部分熱量，故當(dāng)達到熱平衡時，金屬絲便保持一定的溫度。氣體的壓強高，導(dǎo)走的熱量多，平衡溫度就低。所以金屬絲的溫度是氣體壓強的函數(shù)，可以通過測量金屬絲的溫度而求得壓強的大小。熱偶真空計即是用一電阻來測量熱絲的溫度從而得到壓強值的真空計。電阻由兩種不同的金屬絲連接而成，當(dāng)兩接點溫度不同時就產(chǎn)生熱電勢，溫差越大，熱電勢越高。電阻的一個接點與熱絲相接觸，另一接點處于室溫，這樣經(jīng)過校正，即可由熱電勢的值轉(zhuǎn)換為壓強的值。它的測壓范圍為1～10-3pa。真空計傳感器通?？捎卯惐记逑础椙fDZA1型真空表銷售

真空計的可靠性高，操作簡単，測量結(jié)果重復(fù)性好，可持續(xù)監(jiān)視若干測量地點。濟寧數(shù)顯式電阻真空計廠家電話

定溫型電阻真空計工作原理是：先在10-2～10-3 Pa真空度時，將電橋調(diào)于一定的電壓V0(使熱絲溫度為一定值)；改變電阻Rv使電橋平衡，即指示儀表CB指向零；當(dāng)壓力增高時，熱損耗大，熱絲溫度降低，電阻變小，電橋失去平衡，CB有指示；再增高電橋輸入電壓至V使電橋再次平衡，則熱絲溫度及電阻回復(fù)原值。文氏橋定溫型電阻真空計測量線路原理：電橋采用一種文氏交流電橋電路。R1、C1，R2、C2，R3和規(guī)管Rw為電橋四臂。K～為交流振蕩器，其輸出交流電壓V施加于電橋A端與地間，并對規(guī)管熱絲加熱。濟寧數(shù)顯式電阻真空計廠家電話

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