電容薄膜真空計(jì):屬?gòu)椥栽婵沼?jì),彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個(gè)小室,即參考?jí)簭?qiáng)室和測(cè)量室。測(cè)量低壓強(qiáng)(P<100帕)時(shí),參考室抽至高真空,其壓強(qiáng)近似為零。當(dāng)測(cè)量室壓強(qiáng)不同時(shí),薄膜變形的程度也不同。在測(cè)量室中有一固定電極,它與薄膜形成一個(gè)電容器。薄膜變形時(shí)電容值相應(yīng)改變,通過(guò)電容電橋可測(cè)量電容的變化從而確定相應(yīng)壓強(qiáng)值。為了防止薄膜發(fā)生蠕變,通常采用零位法測(cè)量,即在固定電極和薄膜之間加一直流電壓,利用靜電力補(bǔ)償薄膜受壓強(qiáng)差而產(chǎn)生的應(yīng)力,使膜片保持零位。電容薄膜真空計(jì)可直接測(cè)量氣體或蒸氣的壓強(qiáng),測(cè)量值與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān)、結(jié)構(gòu)牢固、可經(jīng)受烘烤,如對(duì)不同壓強(qiáng)范圍采用不同規(guī)頭,可得到較高精度。電容薄膜真空計(jì)可用于高純氣體監(jiān)測(cè)、低真空精密測(cè)量和壓強(qiáng)控制,也可用作低真空測(cè)量的副標(biāo)準(zhǔn)。作為真空度測(cè)量設(shè)備的真空計(jì)類(lèi)型很多,由于各種真空測(cè)量方法的局限性,其靈敏度、量程和用途各不相同。濟(jì)南指針式熱偶真空表廠家推薦
電離真空計(jì):涂氧化釷或氧化釔的銥絲陰極可工作在高達(dá)100帕的壓強(qiáng)下并有相當(dāng)長(zhǎng)的壽命,這種燈絲即使在大氣中加熱也不致?lián)p壞。如果電離計(jì)規(guī)頭采用這種燈絲,并把陽(yáng)極和收集極都做成特殊形式,縮短電極間距離,降低陽(yáng)極電壓,使氣體電離幾率降低(即電離計(jì)系數(shù)降低),則這種電離計(jì)可以測(cè)量10-3~100帕的壓強(qiáng),稱(chēng)為高壓強(qiáng)電離計(jì)。三極管型電離計(jì)測(cè)量低壓強(qiáng)的下限決定于收集極的光電流,即由于電子打在陽(yáng)極上產(chǎn)生的軟X射線(xiàn)照射到收集極上引起光電發(fā)射,光電流便構(gòu)成收集極電流的本底。湖州指針式熱偶真空表銷(xiāo)售廠家熱偶真空計(jì)的皮拉尼電阻規(guī)由于不同氣壓下氣體分子導(dǎo)熱能力不同,通過(guò)測(cè)量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
熱偶真空計(jì)熱陰極電離規(guī):這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1。0E-05Pa至0。1Pa。經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī),Bayard-Alpert規(guī),可以將測(cè)量下限降低至1。0E-09Pa。由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,這種規(guī)在使用時(shí)也需要在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定。冷陰極電離規(guī):冷陰極電離規(guī)也是通過(guò)電離氣體分子收集離子電流的方法進(jìn)壓測(cè)量,但與熱陰極電離規(guī)不同的是,它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1。0E-07Pa至0。1Pa。與熱陰極電離規(guī)同樣的原因,這種規(guī)在使用時(shí)需要在不同氣體下標(biāo)定。
便攜式熱偶真空計(jì)應(yīng)用于航天、機(jī)械、石油、化工、低溫液體貯運(yùn)設(shè)備、冶金、電子及醫(yī)療的真空測(cè)量,產(chǎn)品采用計(jì)算機(jī)技術(shù)對(duì)真空測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行非線(xiàn)性處理,測(cè)量精度高,顯示的穩(wěn)定性好。采用ZJ-51型熱偶規(guī)管為真空度傳感器。便攜式真空儀體積小、重量輕,攜帶方便,交、直流兩用,充電后可連續(xù)使用9小時(shí)以上。技術(shù)指標(biāo)1。測(cè)量范圍:ZJ-51:160Pa~0。1Pa(0~100格)2。絲流范圍:20~135mA;準(zhǔn)確度:±0。5%3。壓力極限誤差:±20%4。工作電源:直流9V;交流220V5。外型尺寸:95×80×45mm。熱偶真空計(jì)相對(duì)靈敏度表明了氣體熱傳導(dǎo)的性質(zhì)。
真空計(jì)測(cè)量對(duì)于用于間接法測(cè)量的真空計(jì),由于不同種類(lèi)氣體的物理性質(zhì)的不同,即使在相同的壓強(qiáng)下,壓強(qiáng)讀數(shù)也隨氣體的變化而異,因此要用相應(yīng)的氣體來(lái)校準(zhǔn)。當(dāng)被測(cè)氣體不是單一成分的時(shí)候,這些真空計(jì)的讀數(shù)的含義較為復(fù)雜。由于一般真空計(jì)校準(zhǔn)時(shí)所采用的氣體是純氮,因此這些真空計(jì)的讀數(shù)在未經(jīng)氣體的種類(lèi)修正之前統(tǒng)稱(chēng)為等效氮壓強(qiáng)。當(dāng)被測(cè)空間包含多種氣體成分時(shí),只有通過(guò)分壓強(qiáng)的測(cè)量才能精確地反映容器中的真空狀態(tài)和總壓強(qiáng)。熱偶真空計(jì)的氣體導(dǎo)熱是氣體與熱絲碰撞的結(jié)果且與熱絲表面狀況有關(guān)。湖州熱電偶真空表供應(yīng)商
一體化微型熱偶真空計(jì)一方面要求測(cè)量準(zhǔn)確,避免環(huán)境對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。濟(jì)南指針式熱偶真空表廠家推薦
屬于真空計(jì)有:(1)壓縮式真空計(jì):其原理是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律,即將一定量待測(cè)壓力的氣體,經(jīng)過(guò)等溫壓縮使之壓力增加,以便用U型管真空計(jì)測(cè)量,然后用體積和壓力的關(guān)系計(jì)算被測(cè)壓力。(2)熱傳導(dǎo)真空計(jì):利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一原理制成。常用的有電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì)。(3)熱輻射真空計(jì):利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)原理。(4)電離真空計(jì):利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。濟(jì)南指針式熱偶真空表廠家推薦
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