熱偶真空計(jì)常用于低真空的測量，其測范圍一般為1-10-3。主要由以下兩部分組成：①熱偶式規(guī)管。②測量儀器：由熱電勢測量儀表和規(guī)管加熱絲穩(wěn)定電源兩部分組成。熱偶式規(guī)管由加熱絲與用來測量加熱絲溫度的熱電偶兩部分構(gòu)成。熱電偶的一端（即熱墻）與加熱絲相連，另一端作為冷端引管外，通過管座接至測量熱偶電勢的毫伏計(jì)。工作時，將與被測真空系統(tǒng)相接的熱偶式規(guī)臂的加熱絲通以一定的加熱電流，在低真空狀態(tài)下，熱電偶產(chǎn)生的熱電勢決定于周圍氣體的壓強(qiáng)，這是因?yàn)榧訜峤z溫度的變化取決予氣體分子的熱傳導(dǎo)，當(dāng)壓強(qiáng)降低時，氣體傳走的熱量減少。一體化微型熱偶真空計(jì)一方面要求測量準(zhǔn)確,避免環(huán)境對測量結(jié)果的影響。煙臺數(shù)顯式熱偶真空表供應(yīng)商

電離真空計(jì)：收集極接收的離子流Ii=SIeP，Ie為陰極電子發(fā)射電流，S為比例常數(shù)，稱為電離計(jì)系數(shù)。在一定溫度下用標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)校驗(yàn)電離計(jì)系數(shù)后，即可根據(jù)離子流的大小確定壓強(qiáng)。熱陰極電離計(jì)規(guī)頭主要類型陰極一般采用鎢絲，陽極可做成柵網(wǎng)狀，使電子能在其兩側(cè)來回穿行以增加電子的行程，故又稱柵極。三極管型電離計(jì)收集極為圓筒形并置于柵極外側(cè)其壓強(qiáng)測量范圍是10-1～10-5帕。當(dāng)工作壓強(qiáng)高于10-1帕?xí)r，鎢絲壽命縮短,而且由于二次電離效應(yīng)，離子流與壓強(qiáng)的關(guān)系開始偏離線性。陜西榆林便攜式熱偶真空計(jì)價(jià)格熱電偶真空計(jì)是國際上一種新型真空測量儀器，它不僅可作真空檢測，并兼顧真空監(jiān)控（真空繼電器）之功能。

熱偶真空計(jì)的故障判斷與維修：有熱偶電流指示而測量讀數(shù)很小。這種故障產(chǎn)生可能是：真空度遠(yuǎn)低于133Pa；熱電偶部分被污染。對應(yīng)維修方法：檢查被測系統(tǒng)真空度；更換或清洗規(guī)管。無熱偶電流指示而有測量讀數(shù)。這種故障一般是分流器中與指示電表串聯(lián)的電阻斷路。維修方法是：更換電阻，重新校準(zhǔn)電流值。加熱電流失控，包括加熱電流過大無法調(diào)小或者加熱電流過小不能調(diào)大或無法調(diào)節(jié)。這種故障產(chǎn)生原因包括：調(diào)節(jié)晶體管擊穿（晶體管式）；調(diào)節(jié)晶體管與散熱器之間的絕緣破壞；加熱電流調(diào)節(jié)電位器一端斷路。

熱偶規(guī)真空計(jì)的研究：真空技術(shù)是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的一個重要組成部分,它推動并促進(jìn)了科技研究和生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展,而真空測量是真空技術(shù)的一個重要環(huán)節(jié)。作為真空度測量設(shè)備的真空計(jì)類型很多,由于各種真空測量方法的局限性,其靈敏度、量程和用途各不相同。在電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的迅速發(fā)展推動下,真空計(jì)的設(shè)計(jì)與研發(fā)正朝著高精度、小型化、集成化、系統(tǒng)化、智能化方向邁進(jìn)。熱偶真空計(jì)以其性能穩(wěn)定、抗沾污、抗氧化、價(jià)格適中等優(yōu)點(diǎn)被應(yīng)用于低真空測量領(lǐng)域,但由于熱偶規(guī)這種傳感器存在著較強(qiáng)的非線性,致使在數(shù)據(jù)處理上存在一系列的問題。為了提高測量精度,必須對其非線性進(jìn)行處理。熱偶真空計(jì)以其性能穩(wěn)定、抗沾污、抗氧化、價(jià)格適中等優(yōu)點(diǎn)被廣泛應(yīng)用于低真空測量領(lǐng)域。

一體化微型熱偶真空計(jì)：具有測量準(zhǔn)確,穩(wěn)定性高,能連續(xù)測量和使用壽命長等特點(diǎn)。隨著科學(xué)技術(shù)的快速發(fā)展,航空航天,微電子,核工業(yè)等技術(shù)領(lǐng)域?qū)Υ值驼婵諟y量提出了更高的要求。一方面要求測量準(zhǔn)確,避免環(huán)境對測量結(jié)果的影響,另一方面要求真空測試設(shè)備攜帶方便,測試快捷。因此研制適用于特殊現(xiàn)場環(huán)境和條件下的便攜式，一體化微型熱偶真空計(jì)具有重要意義。采用數(shù)字信號處理技術(shù),對熱偶真空計(jì)進(jìn)行了測量范圍擴(kuò)展的研究和減小體積的小型化設(shè)計(jì),較終研制了可適應(yīng)復(fù)雜現(xiàn)場環(huán)境,體積小,重量輕,便于攜帶的一體化微型熱偶真空計(jì)。實(shí)測結(jié)果表明,該一體化微型熱偶真空計(jì)的真空測試范圍可達(dá)到0。01Pa～1000Pa的粗低真空測量范圍,較大功率小于10W,工作電源為AC220V±10%/50Hz,工作環(huán)境溫度可達(dá)0～45℃,外形尺寸為100mm×60mm×45mm,重量不到1。5kg。熱偶真空計(jì)的故障判斷與維修：熱偶規(guī)管燈絲斷路或規(guī)管連接電纜部分?jǐn)嗦?，維修方法：更換指示表。金華熱偶真空表供應(yīng)商

熱偶真空計(jì)規(guī)管加熱電流的確定：由于制造熱偶規(guī)管所用的材料及工藝等原因，每個規(guī)管的加熱電流均不相同。煙臺數(shù)顯式熱偶真空表供應(yīng)商

我們知道熱偶真空計(jì)的使用有很多注意事項(xiàng)，如溫度和濕度環(huán)境是否屬正常狀態(tài)，在不同壓力下金屬絲受力不同會有不同尺度的變形，使得金屬絲和電極之間的數(shù)據(jù)變化，通過測量電容的變化量，即可知道金屬絲上氣壓的變化。這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0。01Pa至300Pa、0。1Pa至1000Pa等。這種規(guī)的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度很高。缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，所以才可以消除溫度不同對傳導(dǎo)絲力學(xué)性能的影響，使用時一般需要注意的是規(guī)管沒有被受外力的撞擊（從手上掉入地面或者高真空狀態(tài)下突然放進(jìn)大氣），二是怕進(jìn)入液體如水或者油污等等。煙臺數(shù)顯式熱偶真空表供應(yīng)商

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