真空鍍膜設(shè)備真空裝置自動控制中，往往要進(jìn)行真空測量，由于真空裝置種類繁多、工作壓力范圍也不盡相同，因此，從105Pa—10-5Pa各真空區(qū)域的真空測量塢會遇到。通常使用的真空計有電阻真空計、熱偶真空計、電容薄膜真空計、電離真空計、超高真空計等。為了拓展真空計的功能，真空儀器廠家還生產(chǎn)包括遙控遙測、模擬量輸出、RS - 232C等通信接口、壓力調(diào)節(jié)等功能模塊板供用戶選配。因此，一個配置齊全的真空計，不單能進(jìn)行真空度測量、數(shù)字顯示、量程自動切換、誤差自動修正，而且能在壓力設(shè)定點發(fā)出控制信號去進(jìn)行壓力控制，按設(shè)定壓力值進(jìn)行壓力自動調(diào)節(jié)，還能將測量值打印記錄，并與上位機(jī)進(jìn)行通信聯(lián)系，甚至還能進(jìn)行遠(yuǎn)距離真空測量與控制。主要的真空計分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。衢州單路電阻真空表批發(fā)廠家

我們在進(jìn)等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實驗中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計,這種真空計是用氮氣來標(biāo)定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時,測量誤差大,直接影響到試驗的準(zhǔn)確性。在氮氣體流量為100sccm時,用ZDZ型電阻真空計測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時,所測的氣壓約為50Pa;在氮氣流量為500sccm時,所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時,所測的氣壓達(dá)到300Pa。為了對電阻真空計在測量不同氣體時的氣壓進(jìn)行標(biāo)定,我們采用直接測量的麥克勞真空計作為標(biāo)準(zhǔn),對不同流量的氫氣、氮氣、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計和麥克勞真空計進(jìn)行測量。紹興指針式真空表批發(fā)價格數(shù)顯隔膜真空計靈活可設(shè)置的方式為用戶帶來了很大的便利和適用性。

隔膜真空計是用于系統(tǒng)中檢測腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件，就隔膜真空計本身而言，根據(jù)其測量原理以及量程，精度，組織構(gòu)造，分為很多種類型，這給實際使用中的隔膜真空計選型帶來了一定的難度，本文旨在提供一種統(tǒng)一的選型思路，兩步法快速幫助您快速定位所需的隔膜真空計種類。對于每一個等級內(nèi)的真空度，較佳的測量儀器是不一樣的，具體來說，若處于中低真空的范圍，通常選用皮拉尼電阻規(guī)隔膜真空計，若處于高真空或者超高真空的范圍，則只能選擇電離規(guī)。需要注意的是，皮拉尼電阻規(guī)原理特性決定其在靠近大氣端測量誤差較大，且對氣體種類敏感，因此若設(shè)備的工作真空度在10^3Pa以上，或者過程中對這個區(qū)域的真空度需要監(jiān)控，而且要求測量精度很高，則不宜選擇單純的皮拉尼隔膜真空計，可以考慮皮拉尼與膜片電容復(fù)合的隔膜真空計。

在抽氣管內(nèi)塞入的鋼針及橡皮頭均是用于防止真空計在運輸途中化學(xué)物質(zhì)流失用的，請在真空計安置之后，與真空系統(tǒng)相連時再作抽出（請別丟棄，以后送維修時，還需塞緊后寄回）。對于您選擇的掛壁或帶杠桿式的真空計，采用羅栓作固定的安裝時必須保證真空計與水平面的垂直度，采用支撐式或帶杠桿的請將三根支撐桿一一擰上（杠桿式的在左側(cè)還配有一根平衡桿），選擇一個適合擺放支撐真空計的平臺面，安置好真空計。當(dāng)測量完畢后，應(yīng)及時的關(guān)閉真空計與測量系統(tǒng)之間的閥門，將手輪退到擰不動為止，把杠桿退還到起始位置即可。在數(shù)字真空計的使用過程中，影響電子真空計工作的常見問題是傳感器污染。

采用電阻真空計真空傳感器，可以準(zhǔn)確測量真空度，實時監(jiān)控真空系統(tǒng)的真空度。安全操作說明：在進(jìn)行測量時，應(yīng)遵循使用操作說明，在說明書參數(shù)范圍內(nèi)使用本儀器。當(dāng)電量不足時，應(yīng)及時更換新電池，新舊電池，不同品牌的電池不能混合使用，長時間不用時，應(yīng)取出電池。不要使用腐蝕性清潔劑或溶劑清潔本儀器。戴好護(hù)目鏡和防護(hù)手套。傳感器清理：在使用過程中，傳感器可能被雜質(zhì)污染，此時需要清潔傳感器，具體步驟如下：使真空計關(guān)機(jī)，并取出電池。用滴管或針筒把或酒精注入傳感器室內(nèi)，反復(fù)清洗3-4次。電阻真空計的優(yōu)點在于結(jié)構(gòu)簡單、能連續(xù)測量、可以測量總壓強(qiáng)、使用方便。泰安指針式真空計報價

電容式隔膜真空計測量的真空度與氣體成分無關(guān)。衢州單路電阻真空表批發(fā)廠家

熱導(dǎo)式真空計測量值跟氣體成分有關(guān)，在相同的真空壓力條件下，水蒸氣的熱導(dǎo)率是氮氣的1.6倍，因此在一次干燥過程當(dāng)中，電阻真空計測得值比電容真空計測得值高約為60%。在接近一次升華干燥終點時，凍干箱內(nèi)部水蒸氣逐漸減少，不凝性氣體（以氮氣為主）逐漸增多，因此電阻真空計測得壓力值隨著一次干燥過程的進(jìn)行，逐漸在減小。當(dāng)電阻真空計測得值與電容真空計測得值接近時可以判斷一次干燥過程結(jié)束。但是由于電阻真空計自身存在的一些性能缺點，限制了該方法的使用。電阻真空計易出現(xiàn)老化現(xiàn)象，使其性能降低；電阻真空計有較大的熱慣性，壓強(qiáng)改變時，其讀數(shù)會滯后一些時間；其受外界溫度的影響較大，必須安裝于不易受輻射或?qū)α鳠嵊绊懙牡胤健ａ橹輪温冯娮枵婵毡砼l(fā)廠家

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